Strahlverfahren,
1) Fertigungstechnik: Strahlen.
2) Physik: die Herstellung dünner Schichten durch Abscheidung des gewünschten Stoffs mittels Atom- oder Molekülstrahlen auf einem Trägermaterial (Substrat). Je nach Abscheidungsbedingungen entstehen Schichten mit amorpher, polykristalliner oder einkristalliner (pseudomorpher) Struktur. (Epitaxie)
Universal-Lexikon. 2012.