E|lek|t|ro|nen|mi|k|ro|s|ko|pie [↑ Mikroskopie] zu Strukturuntersuchungen in Naturwissenschaft, Technik, Medizin u. Biologie eingesetzte mikroskopische Untersuchungsmethode, die zur Objektabbildung an Stelle von Licht hoch beschleunigte Elektronen benutzt, deren wesentlich kleinere Wellenlängen ca. 1000fach höhere Auflösung u. entspr. stärkere Vergrößerung bis in atomare Dimensionen erlauben. Man unterscheidet Durchstrahlungs-Elektronenmikroskopie (TEM), mit der Dünnschnitte untersucht werden, u. Raster-Elektronenmikroskopie (REM, SEM). Bei dieser wird ein Elektronenstrahl zeilenweise (»rasternd«) auf die Objektoberfläche gerichtet, was zur Emission von Sekundärelektronen führt. Diese sowie rückgestreute Elektronen werden aufgefangen, verstärkt u. einem Bildschirm zugeführt. Die Rasterdurchstrahlungs-Elektronenmikroskopie (STEM, STM) kombiniert Aspekte beider Verfahren. Verwandte elektronenmikroskopische Techniken, die ebenfalls zur Oberflächenanalyse herangezogen werden, sind Reflexions-Elektronenmikroskopie (REM), Feld[emissions]-Elektronenmikroskopie (FEM), Feldionisationsmikroskopie (FIM) u. die Raster-Tunnelmikroskopie (RTM, STM; ↑ Tunnelmikroskopie).
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Elek|tro|nen|mi|kro|sko|pie, die: Verfahren der Anwendung des Elektronenmikroskops.
Universal-Lexikon. 2012.