1) Техника: электронно-лучевое экспонирование
2) Микроэлектроника: электронное экспонирование
3) Макаров: (E-beam exposure) электронно-лучевое экспонирование (резиста)
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.