Akademik

electron-beam exposure
1) Техника: электронно-лучевое экспонирование
2) Микроэлектроника: электронное экспонирование
3) Макаров: (E-beam exposure) электронно-лучевое экспонирование (резиста)

Универсальный англо-русский словарь. . 2011.