1) Техника: электронно-зондовый микроанализ
2) Математика: рентгеноспектральный микроанализ
3) Физика: электронно-зондовый анализ
4) Макаров: электроннозондовый микроанализ, (EPMA) электронный микрозондовый анализ
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.