1) Техника: электронно-зондовый анализ, электронный анализатор проб
2) Металлургия: локальный рентгеноспектральный анализ
3) Макаров: рентгеноспектральный локальный анализ, электронный зондовый анализ
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.