1) Электроника: многослойная п/п пластина
2) Микроэлектроника: многослойная полупроводниковая пластина, полупроводниковая пластина с несколькими эпитаксиальными слоями
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный англо-русский словарь. Академик.ру. 2011.