Akademik

эпитаксиальная тонкая пленка
[thin epitaxial film] — пленка, когерентно или частично когерентная граничащим кристаллическим материалом, на котором она формируется. Эпитаксиальная тонкая пленка широко используется в микроэлектронике, в устройствах вычислительной техники и т. п.
Смотри также:
Пленка
оксидная пленка
аморфная тонкая пленка
полимерная пленка
магнитная тонкая пленка

Энциклопедический словарь по металлургии. — М.: Интермет Инжиниринг. . 2000.