Akademik
Прецизионная обработка поверхности сложной формы
Статьи
микроморфология
нанометр
фокусированный ионный пучок
шероховатость
(Источник: «
Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО
»)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано
.
2010
.