- Термин
- ионная имплантация
- Термин на английском
- ion implantation
- Синонимы
- ионное внедрение, ионное легирование
- Аббревиатуры
- Связанные термины
- биосовместимые покрытия
- Определение
- введение примесных атомов в твердое тело путем его бомбардировки ускоренными ионами.
- Описание
- При ионной бомбардировке твердых тел, наряду с процессами распыления поверхности, ионно-ионной эмиссии, образования радиационных дефектов и др., происходит проникновение ионов вглубь бомбардируемого объекта (мишени). Наиболее широко ионная имплантация применяется для легирования полупроводников с целью создания p-n переходов, гетеропереходов, низкоомных контактов. Ионную имплантацию в металлы применяют с целью повышения их твердости, износоустойчивости, коррозионной стойкости и т.д. Ионная бомбардировка высокотемпературных сверхпроводников семейства RBa2Cu3Ox может использоваться для создания высокоэффективных центров пиннинга и значительного увеличения плотности критического тока.
- Авторы
- Наймушина Дарья Анатольевна
- Ссылки
- Ионная имплантация / Физическая Энциклопедия: т.2 в 5 т., М.: "Советская энциклопедия", 1990 - С. 197 - 199
- Иллюстрации
модифицированный поверхностный слой керамики
Источник: http://www.irishscientist.ie/2001/contents.asp?contentxml=01p241.xml&contentxsl=IS01pages.xsl- Теги
- Разделы
- Плазмохимическое, ионно- и электронно-лучевое модифицирование поверхности
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.