- Термин
- гомоэпитаксия
- Термин на английском
- homoepitaxy
- Синонимы
- Аббревиатуры
- homoepi
- Связанные термины
- эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
- Определение
- вид эпитаксии, при котором материал наращиваемого слоя и материал подложки один и тот же. Отличие возможно только в содержании легирующей примеси.
- Описание
- Технология гомоэпитаксии используется для выращивания слоев с иным содержанием примеси, чем в подложке, и для создания слоев с различным уровнем легирования.
- Авторы
- Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
- Ссылки
- Иллюстрации
- Теги
- Разделы
- Эпитаксиальные слои
Эпитаксиальные слои
Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин
Твердотельные гибридные и гетероструктуры на основе полупроводников, металлов и магнетиков
Нанотехнологии в фотонике и оптоэлектронике, компонентная база и устройства
Наноэлектроника, компонентная база и устройства
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.