Akademik

химическое осаждение из паров металлорганических соединений
Термин
химическое осаждение из паров металлорганических соединений
Термин на английском
metalorganic chemical vapour deposition
Синонимы
Аббревиатуры
MOCVD
Связанные термины
физическое осаждение из газовой фазы, эпитаксия газофазная
Определение
разновидность метода химического осаждения из газовой фазы, в которой в качестве прекурсоров используются летучие металлоорганические соединения.
Описание

Авторы
  • Журавлева Наталья Геннадиевна
  • Шляхтин Олег Александрович, к.х.н.
Ссылки
Иллюстрации
Теги
Разделы
Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)
Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов
Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.